전공정(FAB)
Photo Acid Generator (PAG) (광산 발생제)
화학 증폭형 감광액(CAR) 내에 포함되어 노광 시 빛에 반응하여 산을 생성하는 물질입니다. 생성된 산은 후속 베이크(PEB) 공정에서 감광액의 화학적 변화를 촉진하여 현상액에 대한 용해도를 조절합니다. PAG는 감광액의 감도와 해상도를 크게 향상시켜 미세 패턴 형성을 가능하게 하는 핵심 구성 요소입니다.
최종 업데이트: 2026.04.03