전공정(FAB)
Plasma Source (플라즈마 소스)
식각, 증착 등의 플라즈마 공정에서 이온화된 가스(플라즈마)를 생성하는 장치입니다. 주로 고주파(RF) 전원 또는 마이크로파(Microwave)를 이용하여 반응 가스에 에너지를 공급함으로써 전자를 가속시키고 충돌을 통해 이온 및 라디칼을 발생시킵니다. 플라즈마 소스는 플라즈마 밀도, 균일도, 이온 에너지 등을 제어하여 공정의 선택성, 이방성, 식각률 및 증착 품질을 결정하는 핵심 부품입니다.
최종 업데이트: 2026.04.03