전공정(FAB)
Process Recipe (공정 레시피)
반도체 제조 장비에서 특정 공정을 수행하기 위해 설정되는 일련의 구체적인 명령어 및 파라미터 집합입니다. 예를 들어, 식각 공정 레시피는 반응 가스의 종류, 유량, 플라즈마 파워, 압력, 시간, 온도 등을 포함합니다. 공정 레시피는 정밀하게 최적화되어야 하며, 각 공정 단계의 재현성과 안정성을 보장하여 고품질의 반도체 소자를 생산하는 데 필수적인 역할을 합니다.
최종 업데이트: 2026.04.03