전공정(FAB)
Process Window (공정 마진)
리소그래피 공정에서 허용 가능한 노광량(Exposure Latitude, EL)과 초점 심도(Depth of Focus, DoF)의 범위가 모두 충족되는 영역을 의미합니다. 이 공정 마진이 넓을수록 공정 변동에 대한 내성이 강하고 안정적으로 패턴을 형성할 수 있어, 양산 수율과 직결됩니다. 초미세 공정에서는 이 공정 마진을 넓게 확보하는 것이 매우 어려워, 첨단 리소그래피 기술 개발의 핵심 목표 중 하나입니다.
최종 업데이트: 2026.04.04