전공정(FAB)

Process Window (공정 윈도우)

반도체 공정에서 제품 사양(Spec)을 충족하면서 양품을 생산할 수 있는 유효한 파라미터(온도, 압력, 시간, 노광량 등)의 범위를 의미합니다. 공정 윈도우가 넓을수록 공정 변동에 강하고 안정적인 양산이 가능해집니다.

최종 업데이트: 2026.04.03

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