PSF

PSF (Point Spread Function, 점 확산 함수)
사용자 정의: 매우 작은 점 광원이 광학계를 통과했을 때 웨이퍼에 퍼지는 정도를 나타내는 함수로, 해상도 한계를 정의함.

상세 설명: 광학계의 성능을 결정하는 가장 근본적인 물리 함수입니다. 이상적인 광학계라면 핀홀 같은 점 광원이 웨이퍼에도 완벽한 점으로 맺혀야 하지만, 실제로는 렌즈의 회절 한계와 수차 등으로 인해 빛이 주변으로 퍼지게 됩니다. 이 퍼짐의 정도와 모양을 수학적으로 나타낸 것이 PSF입니다.

영향: PSF는 인접한 두 패턴이 얼마나 가깝게 붙을 수 있는지(해상도)를 결정합니다(레이리 준거). PSF가 넓게 퍼질수록 해상도는 낮아집니다. OPC, ILT, SMO 등 모든 RET 기술은 근본적으로 이 PSF에 의한 퍼짐 효과를 수학적 모델로 계산하여, 실제 인쇄되는 이미지가 설계된 패턴에 가깝도록 마스크 패턴을 왜곡시키는 기술입니다