PV Band

PV Band (Process Variability Band, 공정 변동성 밴드)
사용자 정의: 노광 및 초점 조건의 변화에 따라 발생할 수 있는 이미지 경계의 변동 범위를 시각화한 영역.

상세 설명: 실제 반도체 양산 공정은 초점(Focus)과 노광 에너지(Dose)가 완벽하게 고정되지 않고 미세하게 변동합니다. PV Band는 이러한 공정 변동 범위(공정 윈도우) 내에서 시뮬레이션을 수행하여, 패턴의 에지가 가장 안쪽으로 그려질 때와 가장 바깥쪽으로 그려질 때의 경계를 연결해 만든 '띠' 형태의 영역입니다.

용용: PV Band의 폭은 해당 패턴이 공정 변화에 얼마나 민감한지를 나타냅니다. DFM이나 리소 검증 단계에서 PV Band가 너무 넓어 인접 패턴과 겹치거나 선폭이 너무 얇아지는 지점을 Hotspot으로 식별하여 보정합니다. 이는 최종 칩의 확률적 불량률을 예측하고 수율을 관리하는 데 필수적인 도구입니다