공정 소재(Material)
Refractory Metal (내화 금속)
매우 높은 녹는점과 강도를 가지며, 고온에서도 화학적으로 안정적인 특성을 보이는 금속들을 총칭하는 용어입니다. 텅스텐(W), 탄탈륨(Ta), 티타늄(Ti), 몰리브덴(Mo) 등이 대표적이며, 반도체 공정의 고온 환경에서도 변형이나 반응 없이 안정적으로 기능을 유지합니다. 주로 금속 게이트, 확산 방지막, 비아/컨택트 플러그 재료로 사용되어 소자의 신뢰성과 성능을 향상시키는 데 기여합니다.
최종 업데이트: 2026.04.03