RET

RET (Resolution Enhancement Technology, 해상도 향상 기술)사용자 정의: 광학 리소그래피의 해상도를 물리적 한계 이상으로 높이기 위한 일련의 기술(OPC, SRAF, OAI 등)을 통칭.상세 설명: 리소그래피 공정의 해상도는 빛의 파장($\lambda$)과 렌즈의 개구수(NA)에 의해 결정됩니다($R = k_1 \cdot \lambda / NA$). 파장을 줄이거나 NA를 높이는 하드웨어적 방식 외에, 공정 상수인 $k_1$ 값을 낮추어 해상도를 높이는 전산 및 공정 기술들을 RET라고 합니다.주요 기술: RET에는 마스크 패턴을 왜곡시키는 OPC와 ILT, 보조 패턴을 추가하는 SRAF, 조명 모양을 바꾸는 OAI(Off-Axis Illumination), 마스크의 위차차를 이용하는 PSM(Phase Shift Mask) 등이 포함됩니다. 넓게는 이들을 동시 최적화하는 SMO나 멀티 패터닝 기술까지 포함하여, 광학 리소그래피의 수명을 물리적 한계 이상으로 연장시키는 모든 노력을 통칭합니다.