전공정(FAB)
Reticle (레티클)
웨이퍼의 일부분(한 개 이상의 다이)에 해당하는 패턴이 그려진 마스크를 의미합니다. 현대의 스테퍼나 스캐너 방식에서는 한 장의 마스크가 웨이퍼 전체를 덮지 않고 부분적으로 반복 노출하기 때문에 마스크와 혼용하거나 레티클이라 부릅니다.
최종 업데이트: 2026.04.03