설비/장비(Equip)
Reticle Pod (레티클 폽)
포토리소그래피 공정에서 사용되는 마스크(레티클)를 운반하고 보관하는 밀폐 용기입니다. 마스크의 미세 패턴이 오염되거나 손상되는 것을 방지하여 공정 수율을 보호합니다. 웨이퍼 폽(FOUP)과 유사하게 AMHS 및 노광 장비와 연동되어 마스크의 안전한 이송을 보장합니다.
최종 업데이트: 2026.04.03