설비/장비(Equip)
RTP (Rapid Thermal Processor) (급속 열처리 장비)
웨이퍼를 매우 짧은 시간(수 초) 동안 고온으로 가열한 후 빠르게 냉각시키는 열처리 장비입니다. 주로 이온 주입 후 불순물을 활성화하고 결정 결함을 복구하며, 실리사이드 형성 등 다양한 공정에 사용됩니다. 고온 공정 시간을 최소화하여 불순물 재분포를 억제하고 웨이퍼 손상을 줄이는 장점이 있습니다.
최종 업데이트: 2026.04.03