공정 소재(Material)
Ruthenium (Ru) (루테늄)
백금족에 속하는 귀금속으로, 반도체 산업에서 초미세 배선, 금속 게이트, 비아(via) 및 컨택트 재료의 유망한 후보로 연구되고 있습니다. 루테늄은 낮은 전기 저항, 높은 전자이동 저항성, 우수한 계면 특성 및 낮은 일함수(Work Function)를 가지며, 확산 방지막 없이 직접 구리와 접촉이 가능한 장점이 있습니다. 특히 2nm 이하 차세대 공정에서 구리 배선의 한계를 돌파할 수 있는 핵심 재료로 기대를 모으고 있습니다.
최종 업데이트: 2026.04.03