공정 소재(Material)
Silicide (규화물)
실리콘(Si)과 금속(Metal)이 반응하여 형성되는 화합물로, 주로 트랜지스터의 소스/드레인 영역 및 폴리실리콘 게이트 상단에 형성됩니다. 실리사이드는 금속과 실리콘 계면의 접촉 저항을 현저히 낮춰 전류 전달 효율을 높이는 역할을 합니다. 코발트 실리사이드(CoSi), 니켈 실리사이드(NiSi), 티타늄 실리사이드(TiSi) 등이 대표적이며, SALICIDE(Self-Aligned Silicide) 공정을 통해 미세 소자의 성능을 최적화하는 데 기여합니다.
최종 업데이트: 2026.04.03