전공정(FAB)
Spectroscopic Ellipsometry (분광 타원 계측법)
박막 표면에서 반사되는 빛의 편광 상태 변화(진폭과 위상)를 측정하여 박막의 두께, 굴절률, 소광 계수 등의 광학적 특성을 비파괴적으로 분석하는 기술입니다. 다양한 파장의 빛을 사용하며, 이를 통해 다층 박막의 각 층에 대한 정보를 얻을 수 있습니다. 분광 타원 계측법은 증착, 식각 공정 후 박막의 특성을 평가하고 공정을 모니터링하는 데 널리 사용되는 정밀 계측 기술입니다.
최종 업데이트: 2026.04.03