전공정(FAB)
Statistical Process Control (SPC) (통계적 공정 관리)
반도체 제조 공정에서 수집되는 데이터를 통계적으로 분석하여 공정의 안정성과 품질을 관리하는 기법입니다. 주로 관리도(Control Chart)를 사용하여 공정 변수(예: CD, 식각 속도, 두께)가 통계적으로 관리 가능한 범위 내에 있는지 모니터링합니다. SPC는 공정 이상 징후를 조기에 감지하고 문제의 원인을 파악하여 품질 불량을 예방하고 수율을 향상시키는 데 기여합니다.
최종 업데이트: 2026.04.03