설비/장비(Equip)
Stepper / Scanner (스테퍼 / 스캐너)
반도체 노광 공정의 핵심 장비로, 레티클에 그려진 패턴을 웨이퍼 위에 축소 투영하는 장치입니다. 스테퍼는 샷 단위로 끊어 찍는 방식이고, 스캐너는 렌즈와 웨이퍼 스테이지를 동시에 움직이며 스캐닝하는 방식으로 해상도와 생산성이 더 높습니다.
최종 업데이트: 2026.04.03