Tachyon (타키온)

사용자 정의: ASML이 인수한 브리온(Brion)의 대표적인 하드웨어 가속 리소그래피 검증 및 OPC 툴 제품군.

상세 설명: ASML Brion의 전산 리소그래피 플랫폼으로, 반도체 제조사들이 초미세 양산 공정에 필요한 OPC, SRAF 생성, 그리고 리소 검증을 수행하는 데 널리 사용되는 업계 표준 툴 중 하나입니다.

특징: Tachyon의 가장 큰 강점은 '하드웨어 가속' 기술입니다. CPU와 함께 GPU 또는 전용 가속기 패턴 매칭 엔진 등을 활용하여, 막대한 계산량이 필요한Model-based OPC나 전 칩 리소그래피 시뮬레이션을 획기적으로 빠른 속도로 처리해냅니다.

기능 및 통합: 단순히 OPC 계산뿐만 아니라, 공정 변동성을 고려한 PV Band 기반의 Hotspot 검출, 오버레이 오차 분석 등 DFM 관점의 통합 리소 검증 기능을 제공합니다. ASML의 노광 장비 데이터와 연동하여 예측 정밀도를 높이는 SMO 기술 등에도 활용됩니다.