공정 소재(Material)
Titanium (Ti) (티타늄)
가볍고 강하며 우수한 내식성을 가진 전이 금속으로, 반도체 소자에서 다양한 용도로 활용됩니다. 주로 실리콘과의 접착력을 향상시키는 접착층(adhesion layer)이나, 실리콘과 반응하여 저저항 규화물(silicide)을 형성하는 데 사용됩니다. 또한, 질소와 반응하여 확산 방지막인 질화 티타늄(TiN)을 형성하며, 고성능 소자의 전극 재료 및 배선 공정에서 중요한 역할을 수행합니다.
최종 업데이트: 2026.04.03