설비/장비(Equip)
Track (트랙 장비)
노광기(Scanner)와 일체형으로 연결되어 사용하는 장비로, 웨이퍼에 감광액(PR)을 코팅(Spin Coating)하고 노광 후 패턴을 현상(Develop)하는 공정을 수행합니다. 화학적 처리가 정밀하게 이루어지는 노광 공정의 전후 필수 장비입니다.
최종 업데이트: 2026.04.03