설비/장비(Equip)
Track (Lithography Track) (리소그래피 트랙)
포토리소그래피 공정에서 감광액 도포, 베이킹(굽기), 현상, 세정 등을 자동화된 로봇 팔로 처리하는 일련의 장비 시스템입니다. 웨이퍼에 균일한 감광액 막을 형성하고 패턴을 정확하게 현상하는 데 필수적입니다. 노광 장비(스캐너/스태퍼)와 연동되어 일관된 공정 흐름을 제공하며, 수율에 직접적인 영향을 미칩니다.
최종 업데이트: 2026.04.03