전공정(FAB)
Track System (트랙 시스템)
반도체 제조 공정에서 웨이퍼에 감광액을 도포하고, 베이크(건조), 현상, 세척 등의 작업을 자동으로 수행하는 통합 장비입니다. 이 시스템은 웨이퍼를 한 번에 여러 공정 단계로 이동시키면서 처리하여 감광액 공정의 자동화와 효율성을 극대화합니다. 정밀한 온도, 시간, 화학액 제어를 통해 리소그래피 공정의 생산성과 품질을 안정적으로 유지하는 데 기여합니다.
최종 업데이트: 2026.04.03