설비/장비(Equip)
Wafer Defect Inspection System (웨이퍼 결함 검사 시스템)
웨이퍼 표면의 미세한 결함(파티클, 스크래치, 패턴 이상 등)을 자동으로 검출하고 분류하는 장비입니다. 광학적 또는 전자빔 기반의 다양한 기술을 사용하여 결함을 찾아냅니다. 조기 결함 발견을 통해 불량 발생 원인을 파악하고 공정을 개선하여 수율을 극대화하는 데 필수적입니다.
최종 업데이트: 2026.04.03