전공정(FAB)
Wafer-Scale CNT Alignment (웨이퍼 스케일 탄소 나노튜브 정렬)
탄소 나노튜브(CNT) 기반 소자를 대량 생산하기 위해 수많은 CNT들을 기판 위에 원하는 방향으로 정밀하게 배열하는 기술입니다. CNT의 무작위 배치는 소자 성능의 불균일성을 초래하므로, 고성능 CNTFET 집적회로 구현을 위해 필수적입니다. 유체 역학적 정렬, 전기장/자기장 정렬, 표면 패턴을 이용한 자가 조립 등 다양한 연구가 진행되고 있는 핵심 공정 난이도입니다.
최종 업데이트: 2026.04.04