설비/장비(Equip)
Wet Bench (습식 세정 장비)
화학 약품이 담긴 수조(Bath)에 웨이퍼를 담가 오염물질이나 불필요한 막질을 제거하는 세정 장비입니다. 대량의 웨이퍼를 효율적으로 세척할 수 있는 배치 처리 방식의 대표적인 세정 장치입니다.
최종 업데이트: 2026.04.03