공정 소재(Material)
Work Function Metal (일함수 금속)
하이-k(High-k) 유전체와 함께 사용되는 금속 게이트 전극 재료로, 특정 일함수(work function) 값을 갖도록 조절된 금속입니다. 문턱 전압(threshold voltage)을 조절하여 NMOS 및 PMOS 트랜지스터의 성능을 최적화하는 데 필수적인 역할을 합니다. 주로 티타늄 질화물(TiN), 탄탈륨 질화물(TaN), 루테늄(Ru) 등이 사용되며, 트랜지스터의 게이트 스택 구조에서 채널 영역의 전위 장벽을 효과적으로 조절합니다.
최종 업데이트: 2026.04.03