설비/장비(Equip)
XRF (X-Ray Fluorescence Spectrometer) (X선 형광 분석 장비)
시료에 X선을 조사하여 발생하는 특성 X-선 형광을 분석함으로써 시료의 구성 원소를 정성적 및 정량적으로 분석하는 장비입니다. 비파괴 방식으로 박막의 조성, 두께, 불순물 등을 측정합니다. 반도체 공정 중 재료 및 박막의 정확한 성분 관리에 활용됩니다.
최종 업데이트: 2026.04.03