설비/장비(Equip)
ZEISS Starlight (자이스 스타라이트)
ASML의 High-NA EUV 리소그래피 장비에 사용되는 ZEISS社의 혁신적인 초고해상도 광학 모듈의 코드명입니다. 이는 NA(Numerical Aperture)를 기존 EUV 스캐너의 0.33에서 0.55로 끌어올려, 8nm 이하의 초미세 패턴 구현을 가능하게 하는 핵심 기술 집약체입니다. 아나모픽 렌즈 설계와 같은 최첨단 광학 기술이 적용되어 반도체 미세공정의 한계를 돌파하는 데 결정적인 역할을 합니다.
최종 업데이트: 2026.04.04