PROCESS
ZEP-520 / FEP-171
마스크 산업에서 고해상도 구현을 위해 전통적으로 널리 쓰이는 전자빔 전용 레지스트 명칭입니다.
최종 업데이트: 2026.04.03
마스크 산업에서 고해상도 구현을 위해 전통적으로 널리 쓰이는 전자빔 전용 레지스트 명칭입니다.