식각 선택비 및 에스펙트 비 계산기
식각 공정의 마진(선택비)과 구조적 난이도(Aspect Ratio)를 정량적으로 평가합니다.
Selectivity (S)
Aspect Ratio (AR)
Structure Diagram (AR: 10.0)
Calculated Selectivity
10.0 : 1
양호한 마진
Aspect Ratio (AR)
10.0
중급 공정 난이도
In-depth PI Guide
- AR > 20: HARC(High Aspect Ratio Contact) 공정으로 분류되어 로딩 효과가 심해집니다.
- S < 5: 하부 막질 손상 위험이 매우 높습니다. 공정 통합 시 하부 장벽층(Etch Stop Layer) 도입을 검토하십시오.