Murphy Model은 결함 밀도가 삼각형 분포(Triangular distribution)를 따른다고 가정하며, 현대 미세 공정에서 Poisson 모델보다 훨씬 현실적인 수치를 제공합니다. $D_0$는 $cm^2$ 당 치명적인 결함의 개수를 의미하며, 성숙 공정(Stable)은 0.1 이하, 초기 램프업(Ramp-up) 공정은 0.3~0.5 수준으로 설정하는 것이 업계 관례입니다.